氣浮式定位吸盤組
特點:² 利用壓差氣浮將基板提昇不需碰觸基板表面不損傷材料² 配合導引斜面 將基板作精確定位² 氣浮+導引可以克服Working tray材料偏移不易吸的問題² 搭配精密感測器偵測 吸料動作確實² 採用特殊材質製作吸盤不磨損壽命長機台運作不停機² 操作電壓24V 氣壓:4~5KG/CM2